首先，对于CVD废气处理，我们可以使用高效真空泵抽取废气，经过Local Scrubber净化装置进行初步处理，然后进入Central Scrubber进行深度治理。这样可以采用多种净化方式，如冷凝、燃烧、除尘、洗涤、吸收、吸附和静电等，确保废气达标排放。

其次，针对酸性碱性废气以及剥离液废气处理，可以采用冷凝法回收有价值的组分，然后进入集中洗涤系统。利用酸碱中和、多级吸收和吸附、常温催化氧化工艺等技术，深度净化并消除异味。

另外，对于有机废气处理，我们可以利用活性炭吸附或沸石转轮技术，将大风量、低浓度的有机废气浓缩为小风量、中高浓度的有机废气。随后，这些废气会经过高效的焚烧处理，如RTO/TO/CO等，确保排放浓度低于规定的标准。

此外，为了应对CVD系统产生的特殊废气，如具有毒性、腐蚀性和自燃性的气体，以及能造成温室效应的气体，我们还需要特别关注并采取相应的处理措施。这包括使用尾气处理设备对废气进行深度处理，确保在排放前达到环保标准。

除了对废气进行治理，我们还应该关注CVD系统本身的优化。例如，改进工艺，降低废气产生量；选择环保型材料和试剂，减少有害气体的排放；加强设备维护和管理，确保设备正常运行，减少故障和泄漏等问题。